使(shi)用(yong)MEMS技術的(de)流(liu)量(liang)傳(chuan)感器利用(yong)的(de)是熱(re)量(liang)傳(chuan)遞到熱(re)電偶（熱(re)電堆）產(chan)生(sheng)電動(dong)勢的(de)熱(re)電效應。氣體流(liu)動(dong)會改變加熱(re)器的(de)熱(re)分布，使(shi)上下游傳(chuan)輸的(de)熱(re)量(liang)產(chan)生(sheng)差(cha)異(yi)，從而產(chan)生(sheng)電動(dong)勢。產(chan)生(sheng)的(de)電動(dong)勢進行(xing)溫度補償(chang)和線性修正(zheng)后，作為流(liu)量(liang)輸出。

使用(yong)MEMS技術的流量傳感器體(ti)積小巧，安裝自由度(du)高，對客(ke)戶的產品設(she)計沒有限(xian)制。另一方面，采用(yong)數字輸出方式，精(jing)度(du)和分(fen)辨(bian)率高，響(xiang)應(ying)速度(du)也非常(chang)快(kuai)，時間可小于5毫秒，能快(kuai)速獲得測量結(jie)果。

流(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)大致有(you)三(san)類：測(ce)(ce)量(liang)上游和下游壓力差的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)、測(ce)(ce)量(liang)流(liu)量(liang)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)和測(ce)(ce)量(liang)風(feng)速的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)。其中測(ce)(ce)量(liang)風(feng)速的(de)流(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)可用(yong)于10 m/s 的(de)風(feng)速測(ce)(ce)量(liang)，各(ge)自(zi)在(zai)不同(tong)的(de)領域能(neng)發揮不同(tong)作(zuo)用(yong)。

應用案例

1、呼吸設備

常(chang)用(yong)的呼吸(xi)治療設(she)備有CPAP 設(she)備、呼吸(xi)機(ji)、制(zhi)氧機(ji)和肺活量(liang)測(ce)量(liang)設(she)備等，流量(liang)傳感(gan)(gan)器(qi)在其(qi)中發揮了重要作用(yong)。流量(liang)傳感(gan)(gan)器(qi)還被用(yong)于檢測(ce)肺部(bu)空氣的流動情況，并作為關(guan)系生命的重要傳感(gan)(gan)器(qi)不斷擴大應用(yong)領域。

2、自動化工廠

流量(liang)傳感器可對自動化(hua)工(gong)(gong)廠環境中(zhong)空氣(qi)(qi)的流量(liang)和流速進行(xing)可視化(hua)，不(bu)僅能(neng)使(shi)工(gong)(gong)廠環境更加舒適，還能(neng)防止灰(hui)塵進入生(sheng)產線(xian)造(zao)成產品缺陷(xian)。用于控(kong)制設備時，再小(xiao)的氣(qi)(qi)流也能(neng)被檢測到，可以控(kong)制設備只使(shi)用所(suo)需的氣(qi)(qi)流，節(jie)約能(neng)源。

3、可(ke)變風(feng)量控制設備（VAV）

空調系統中的可變風量控制設備（VAV）是一種可以自動調節風量并控制風量保持恒定的裝置。在裝置中使用流量傳感器可協助控制加熱和冷卻能力。流量傳感器可以(yi)(yi)測量(liang)流(liu)(liu)經空調(diao)(diao)管(guan)道的氣(qi)流(liu)(liu)速度(du)，并根據室(shi)內溫差(cha)打開(kai)或關閉風門葉(xie)片以(yi)(yi)調(diao)(diao)節氣(qi)流(liu)(liu)，實現節能。

美蓓亞三美將半(ban)導體技術(shu)與傳感器(qi)技術(shu)結合，不斷研發出多種小型化(hua)、高性(xing)能的MEMS傳感器(qi)產品，為各行各業提(ti)供優質的傳感器(qi)解決(jue)方(fang)案。

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MEMS流量傳感器的應用