隨(sui)著產(chan)品小型化(hua)、智能化(hua)、集成化(hua)的發展，如何讓(rang)產(chan)品功能超群(qun)的同(tong)時降低(di)成本成為(wei)了(le)新的難題。MEMS作為(wei)解決方法之一，進入了(le)人們(men)的視野。
什么是MEMS？
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）即微(wei)(wei)機電(dian)系統(tong)，通(tong)過基(ji)于半導體集(ji)成(cheng)電(dian)路制(zhi)作(zuo)發展而來的(de)(de)微(wei)(wei)細加工技術，在硅或(huo)玻璃(li)等(deng)薄(bo)基(ji)板(ban)上(shang)制(zhi)作(zuo)數(shu)十微(wei)(wei)米的(de)(de)運動部件和(he)(he)三維部件（如齒(chi)輪）。該系統(tong)不僅包(bao)含電(dian)路，還有微(wei)(wei)小(xiao)的(de)(de)柱子和(he)(he)薄(bo)膜(mo)等(deng)微(wei)(wei)結構，并將執行器(qi)和(he)(he)傳感器(qi)等(deng)機械及電(dian)子部件集(ji)成(cheng)在單個(ge)芯片(pian)上(shang)。
MEMS的基本構成
MEMS采用三維結構制作，將電子電路和(he)機械(xie)元件(jian)(jian)（如傳(chuan)感器和(he)執行器）內置到半導體基板上。通過(guo)將獨(du)立部件(jian)(jian)組合到芯片中制成(cheng)微米級(ji)智能(neng)系統(tong)，可以(yi)實現設備的(de)小型(xing)化和(he)集(ji)成(cheng)化，使產品(pin)更小更輕。
MEMS的基本構成要(yao)素有：傳感(gan)器(qi)、執行器(qi)、電路及其它(ta)輔助類元件。
傳感器(qi)：將壓(ya)力、磁力、靜(jing)電或熱量(liang)轉換(huan)成電信號
執(zhi)行器：將能量轉換成某種機(ji)械動作
電路：放大/補償元(yuan)件輸出信號或將模擬(ni)信號轉換為數(shu)字信號
輔助元件(jian)：發熱(re)元件(jian)、導電電極、晶體振蕩器(qi)等，相互作用以實(shi)現復(fu)雜的加工。
MEMS傳感器
MEMS傳感器(qi)與(yu)傳統(tong)傳感器(qi)基本相(xiang)同，但它將電子電路和(he)機械元(yuan)件(jian)集成為(wei)一個獨立(li)組件(jian)，使產品 "更(geng)(geng)小(xiao)、更(geng)(geng)輕(qing)、更(geng)(geng)精密"。
MEMS傳感器可集(ji)成(cheng)在檢測加速度、壓力、溫度等傳感器以及智(zhi)能手機的麥克(ke)風和揚聲器中，在提升設備(bei)(bei)性能和便利性，促(cu)進設備(bei)(bei)小型化和輕量化等方面(mian)發(fa)揮了重要(yao)作用。
1、壓力傳感器
使用MEMS的(de)壓(ya)(ya)力傳感器主要有兩(liang)種：使用壓(ya)(ya)電(dian)(dian)電(dian)(dian)阻(zu)元件作為感壓(ya)(ya)元件的(de)“壓(ya)(ya)電(dian)(dian)電(dian)(dian)阻(zu)式(shi)”和通過電(dian)(dian)極檢測(ce)靜電(dian)(dian)容量變(bian)化的(de)“靜電(dian)(dian)容量方(fang)式(shi)”。兩(liang)種傳感器都是通過薄膜(mo)（稱為膜(mo)片）的(de)偏轉來測(ce)量壓(ya)(ya)力。
使用MEMS芯片的壓力傳感器
A：傳感(gan)器(qi)控制IC B：MEMS壓力(li)傳感(gan)器(qi)
數字式傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)在單個封(feng)裝模(mo)塊內裝有傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)和處理傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)信號的(de)控(kong)制IC (AFE)。模(mo)擬式傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)不包括傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)控(kong)制IC。
2、流量傳感器
使用(yong)MEMS的美蓓亞(ya)三美流(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器有三種：測量(liang)上下游(you)壓差的傳(chuan)感(gan)器、測量(liang)流(liu)量(liang)的傳(chuan)感(gan)器和(he)(he)測量(liang)風速(su)的傳(chuan)感(gan)器，主要特點為小型化和(he)(he)數字(zi)輸(shu)出(chu)。小型化可以(yi)提升產品設計自由度(du)；數字(zi)輸(shu)出(chu)可以(yi)實現快速(su)響應、高精(jing)度(du)和(he)(he)高分辨率。
除(chu)了具有體積(ji)小、重量輕、集成化等(deng)特點外，MEMS還(huan)具有出(chu)色(se)的(de)生(sheng)產(chan)效率。它可在一片晶圓上同時制造多種產(chan)品，易(yi)于(yu)大規模生(sheng)產(chan)。MEMS傳感器技(ji)(ji)術已應用于(yu)氣味檢測、基(ji)因(yin)分(fen)析、機器人、醫療、汽車等(deng)多個領(ling)域(yu)，為各個領(ling)域(yu)帶(dai)來了技(ji)(ji)術革新。
