從智能(neng)手機到新(xin)能(neng)源(yuan)汽車(che)(che)，MEMS元(yuan)件應用(yong)于(yu)各行(xing)各業，并有逐漸(jian)取代現(xian)有零部件的趨勢。尤其(qi)在(zai)汽車(che)(che)領域，采用(yong)MEMS技(ji)術(shu)制(zhi)作(zuo)的傳感器不僅(jin)用(yong)于(yu)燃油車(che)(che)，在(zai)電(dian)動汽車(che)(che)上也不可或缺。其(qi)中(zhong)備(bei)受矚(zhu)目的無人駕駛技(ji)術(shu)，就需(xu)要大量(liang)使(shi)用(yong)MEMS技(ji)術(shu)制(zhi)作(zuo)的元(yuan)件來實現(xian)。

用途1、燃油汽(qi)車用MEMS傳感(gan)器

燃油汽車上使用了很多MEMS傳感器。在發動機控制中，各種MEMS壓力傳感器被用來檢測氣體和液體。壓力傳感器被安裝(zhuang)在各種環境中，并根據(ju)不(bu)同(tong)條件(jian)進行封裝(zhuang)。

用(yong)(yong)途2、電(dian)動汽車用(yong)(yong)MEMS傳(chuan)感器

在燃油(you)車(che)向(xiang)電動(dong)汽車(che)轉(zhuan)變的(de)過程中，車(che)載信(xin)息娛樂系統也(ye)朝著多(duo)元(yuan)化(hua)、智(zhi)能化(hua)方向(xiang)發展，為駕駛(shi)者提供數據智(zhi)能分(fen)析、智(zhi)能語音、車(che)內(nei)環(huan)境檢測等個性化(hua)服(fu)務。以MEMS傳感器為首的(de)多(duo)個MEMS元(yuan)件成為支撐該(gai)系統的(de)重要(yao)部(bu)件。

（1）導航系統

導(dao)航系(xi)統使用(yong)(yong)加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)(gan)器、陀螺儀傳(chuan)感(gan)(gan)器、地磁傳(chuan)感(gan)(gan)器等各種(zhong)MEMS傳(chuan)感(gan)(gan)器，與汽(qi)車的運(yun)動(dong)聯動(dong)，在(zai)屏幕上顯示各種(zhong)信息。加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)(gan)器還被用(yong)(yong)在(zai)安全氣囊上。當汽(qi)車與其它(ta)物體發生碰撞時，加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)(gan)器可(ke)以讀取沖擊力(li)，使安全氣囊膨脹。

（2）音響系統

MEMS 揚聲器(qi)(qi)具有緊湊、輕量(liang)和節能的特點，越來越多地用于車載環繞聲系統。將其配置在車內的座椅、頂篷、車門等處，能提供強勁的三維音效。即使(shi)安裝數量(liang)增加，也不會(hui)增加占(zhan)用空間(jian)，與傳統的揚聲器(qi)(qi)負載相比，還能減(jian)輕車輛的重(zhong)量(liang)。

（3）車內環境檢測

隨著(zhu)自動駕駛技術的(de)(de)發展(zhan)(zhan)，車內(nei)環境(jing)也將(jiang)成為(wei)關注的(de)(de)焦點。車內(nei)空氣(qi)質量(liang)（如二(er)氧化碳濃度(du)）的(de)(de)可視化也將(jiang)變得更(geng)(geng)加重要(yao)，預(yu)計(ji) MEMS 傳感(gan)器將(jiang)被用(yong)于這種測(ce)量(liang)。此外(wai)，為(wei)創造更(geng)(geng)舒適的(de)(de)車內(nei)環境(jing)，氣(qi)味傳感(gan)裝置(zhi)及其它相關裝置(zhi)的(de)(de)研發也在不斷開展(zhan)(zhan)。未來會有更(geng)(geng)多(duo)種類的(de)(de)MEMS元件應(ying)用(yong)到汽車上。

在迎來CASE時代的汽車領域，美(mei)蓓亞(ya)三美(mei)可提(ti)供各種MEMS元件。在無人(ren)駕(jia)駛(shi)技術中， “激光(guang)雷達”是實現自動駕(jia)駛(shi)的重要(yao)一(yi)環(huan)，其使用的“MEMS鏡“由美(mei)蓓亞(ya)三美(mei)提(ti)供。

在圍繞自動(dong)駕駛進行(xing)的(de)各種(zhong)研(yan)究和實驗中，“激(ji)(ji)光(guang)雷達(Light Detection And Ranging)”技術備受關注。該技術利用(yong)激(ji)(ji)光(guang)照(zhao)射周圍物體進行(xing)二維或三維傳(chuan)感，感知(zhi)物體的(de)形狀和運動(dong)。以(yi)(yi)往激(ji)(ji)光(guang)雷達使(shi)用(yong)電機，目前正(zheng)在開發使(shi)用(yong) MEMS 鏡片的(de)激(ji)(ji)光(guang)雷達，以(yi)(yi)實現設備小型化。

?除了傳(chuan)統電(dian)機和 MEMS 設備外，美蓓亞三(san)美還開發了 LATM（Limited Angle Torque Motor）。這是一種基于獨特磁路(lu)設計的(de)旋轉往(wang)復式執(zhi)行器(qi)，可實(shi)現對激(ji)光(guang)雷達(da)鏡(jing)面角度(du)的(de)高速、高精(jing)度(du)控制(zhi)，為汽車駕駛的(de)智能化(hua)、自動化(hua)發展(zhan)提供技術(shu)助力。