壓力傳感器是一種將壓力轉換成電信號并輸出的裝置，主要由將壓力轉換成電信號的壓力敏感元件和處理電信號的信號處理裝置組成。壓力傳感器有MEMS、電阻式、電容式、壓電式和光學式等多種類型。其中采用 MEMS 技術的壓力傳感器因其出(chu)色的量(liang)產性(xing)、小(xiao)尺寸和低功耗而得到廣泛(fan)應用。

MEMS壓(ya)力傳感器的(de)優勢

1、小量程測量

使用了MEMS技術的(de)壓力(li)傳感器可用于-50kPa-50kPa的(de)領域，且具有很高的(de)測(ce)量精(jing)度。

2、 兩種接口輸出

可提供(gong)模擬(ni)和數(shu)字兩種(zhong)接口(kou)輸出。

3、 產品系列豐富

產品系(xi)列中包含一款用于微(wei)壓力(li)(li)測量的微(wei)壓傳感器。普通壓力(li)(li)傳感器的誤差為±266 Pa，而微(wei)壓傳感器的誤差為±40 Pa，測量精度更高(gao)。

MEMS壓力傳感器的應用

1、醫療設(she)備(bei) 美蓓亞三美作為主要的(de)血壓計(ji)用壓力傳感(gan)器供應商，在日本本土及(ji)海外都設(she)有生產基地，生產的(de)MEMS 壓力傳感(gan)器已(yi)應用于多種血壓計(ji)。

2、自(zi)動(dong)化工(gong)業 在自(zi)動(dong)化工(gong)業中，MEMS壓(ya)力傳感器(qi)可(ke)用于控制工(gong)廠設(she)備使用的(de)(de)氣壓(ya)和液壓(ya)，并利用測量的(de)(de)信息進行恰(qia)當的(de)(de)操(cao)作。如使用壓(ya)力的(de)(de)“吸力型”機器(qi)手可(ke)通過 MEMS 壓(ya)力傳感器(qi)進行精細控制，在不(bu)損壞產品(pin)的(de)(de)情況下處理要抓取的(de)(de)產品(pin)。

3、汽車行業 壓力傳感(gan)器被(bei)(bei)安裝在(zai)汽車內(nei)部的(de)各種環境中，并根據不(bu)同條件進行封裝。如在(zai)發(fa)動機控(kong)(kong)制中，壓力傳感(gan)器被(bei)(bei)安裝在(zai)進氣(qi)、排氣(qi)、汽油罐等部位用于檢測氣(qi)體和(he)液體。此外，為防止電(dian)動汽車使(shi)用的(de)鋰電(dian)池出現(xian)熱(re)失控(kong)(kong)，使(shi)用壓力傳感(gan)器的(de)電(dian)池監測技術正在(zai)不(bu)斷開發(fa)。

采(cai)用(yong)MEMS技術使壓力傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)尺寸更(geng)小(xiao)，可配備的(de)功(gong)能也(ye)更(geng)多(duo)。美蓓亞三美采(cai)用(yong)MEMS 技術和應(ying)變片技術研發了多(duo)種(zhong)不同類(lei)型的(de)壓力傳(chuan)感器(qi)(qi)，不僅拓寬了壓力傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)應(ying)用(yong)領域，在節能降耗(hao)上也(ye)做出(chu)了貢(gong)獻。