在MEMS和AFE核心(xin)技術領域擁有雄(xiong)厚實力的(de)(de)美(mei)蓓亞三(san)美(mei)集團旗(qi)下三(san)美(mei)電機株式會(hui)社(以(yi)下簡稱(cheng)三(san)美(mei)電機),以(yi)“室內設(she)備壓力可視化 ”為主題(ti)推出(chu)了一款新產(chan)品MMR920系列壓力傳(chuan)感器(qi)。產(chan)品具(ju)備小型化、低功(gong)耗的(de)(de)優勢,能(neng)夠以(yi)±1%FS的(de)(de)精(jing)度測(ce)量±3.92kPa的(de)(de)壓力范圍(wei)。
MMR920系(xi)列采用新型MEMS結構,提高了內部MEMS芯片的(de)靈(ling)敏(min)度,并配備了24bit⊿ΣADC,能(neng)夠以(yi)較高的(de)有效(xiao)分辨率進行準確(que)的(de)壓力(li)測(ce)量。它可以(yi)檢(jian)測(ce)空調設備、冷(leng)氣(qi)機、換氣(qi)扇等因過(guo)濾器(qi)堵塞而引起(qi)的(de)內部壓力(li)變化(hua)和(he)醫療器(qi)械等因呼氣(qi)而引起(qi)的(de)微小壓力(li)變化(hua)。
MMR920系列(lie)傳感器采用(yong)7mm小型(xing)表面貼裝(zhuang)(zhuang)式封裝(zhuang)(zhuang)和(he)新型(xing)背面受壓封裝(zhuang)(zhuang)結構,具(ju)有防(fang)潮防(fang)塵功能,有助(zhu)于縮(suo)小安裝(zhuang)(zhuang)側基(ji)板的尺(chi)寸和(he)減少設計工時,從而實現空調(diao)和(he)醫療器械的進一步(bu)小型(xing)化。
特點
① 新型MEMS結(jie)構提高(gao)了(le)產(chan)品(pin)靈敏度。通(tong)過采用(yong)將壓力集中在壓電元件上的結(jie)構,靈敏度比MS901系列(lie)高(gao)出(chu)約4.59倍。
② 專利技術實現了從(cong)MEMS芯片背面受壓的結(jie)構,這在過去的小型表(biao)面貼裝(zhuang)型封(feng)裝(zhuang)中很難實現。這項專利技術實現了產品小型化的同時,還(huan)能確(que)保防止濕(shi)氣和(he)異物從(cong)噴嘴部(bu)分(fen)進入內部(bu)。
③ 產品內部安裝了高性能24bit⊿ΣAFE,實現了傳(chuan)感器的高速響應和(he)高分(fen)辨率(低(di)噪音)。
④ 傳(chuan)感器的偏差和溫(wen)度特(te)性在出貨時已(yi)得到校(xiao)正(zheng),因此無需復(fu)雜(za)的傳(chuan)感器驅動/控制(zhi)電路/校(xiao)正(zheng)。
*已取得日本專利(專利第7352076號,專利第7323810號)
主要用途
空(kong)調設備、冷氣(qi)機和換氣(qi)扇
CPAP和呼吸輔助設備等醫療器(qi)械
電子管樂器 等
產品照片
三美電機(ji)制造MMR920系列
產品規格
● 工作電壓(ya)范圍 : 3.0~3.6V
● 工作壓力(li)范(fan)圍 : ±3.92kPa
● 工作溫度范圍: -40~60°C (* 后(hou)續(xu)將推出-40~85°C 產品)
● 電流消耗(hao): 0.8mA
● 壓力精度 : ±1.0%FS
● 轉換(huan)時間: 0.4 / 0.8 / 1.6 / 3.2 ms(可(ke)選)
● 有效分辨率:1.9 / 0.9 / 0.4 / 0.2 Pa RMS(與所(suo)選轉換時間對應)
● 接口:I2C / SPI
封(feng)裝:MEMS-12B
尺寸:7.0 x 7.0 x 7.2(W×D×H)mm