在MEMS和AFE核心(xin)技術領域擁有雄(xiong)厚實力的(de)(de)美(mei)蓓亞三(san)美(mei)集團旗(qi)下三(san)美(mei)電機株式會(hui)社（以(yi)下簡稱(cheng)三(san)美(mei)電機），以(yi)“室內設(she)備壓力可視化 ”為主題(ti)推出(chu)了一款新產(chan)品MMR920系列壓力傳(chuan)感器(qi)。產(chan)品具(ju)備小型化、低功(gong)耗的(de)(de)優勢，能(neng)夠以(yi)±1%FS的(de)(de)精(jing)度測(ce)量±3.92kPa的(de)(de)壓力范圍(wei)。

MMR920系(xi)列采用新型MEMS結構，提高了內部MEMS芯片的(de)靈(ling)敏(min)度，并配備了24bit⊿ΣADC，能(neng)夠以(yi)較高的(de)有效(xiao)分辨率進行準確(que)的(de)壓力(li)測(ce)量。它可以(yi)檢(jian)測(ce)空調設備、冷(leng)氣(qi)機、換氣(qi)扇等因過(guo)濾器(qi)堵塞而引起(qi)的(de)內部壓力(li)變化(hua)和(he)醫療器(qi)械等因呼氣(qi)而引起(qi)的(de)微小壓力(li)變化(hua)。

MMR920系列(lie)傳感器采用(yong)7mm小型(xing)表面貼裝(zhuang)(zhuang)式封裝(zhuang)(zhuang)和(he)新型(xing)背面受壓封裝(zhuang)(zhuang)結構，具(ju)有防(fang)潮防(fang)塵功能，有助(zhu)于縮(suo)小安裝(zhuang)(zhuang)側基(ji)板的尺(chi)寸和(he)減少設計工時，從而實現空調(diao)和(he)醫療器械的進一步(bu)小型(xing)化。

特點

① 新型MEMS結(jie)構提高(gao)了(le)產(chan)品(pin)靈敏度。通(tong)過采用(yong)將壓力集中在壓電元件上的結(jie)構，靈敏度比MS901系列(lie)高(gao)出(chu)約4.59倍。

② 專利技術實現了從(cong)MEMS芯片背面受壓的結(jie)構，這在過去的小型表(biao)面貼裝(zhuang)型封(feng)裝(zhuang)中很難實現。這項專利技術實現了產品小型化的同時，還(huan)能確(que)保防止濕(shi)氣和(he)異物從(cong)噴嘴部(bu)分(fen)進入內部(bu)。

③ 產品內部安裝了高性能24bit⊿ΣAFE，實現了傳(chuan)感器的高速響應和(he)高分(fen)辨率（低(di)噪音）。

④ 傳(chuan)感器的偏差和溫(wen)度特(te)性在出貨時已(yi)得到校(xiao)正(zheng)，因此無需復(fu)雜(za)的傳(chuan)感器驅動/控制(zhi)電路/校(xiao)正(zheng)。

*已取得日本專利（專利第7352076號，專利第7323810號）

主要用途

空(kong)調設備、冷氣(qi)機和換氣(qi)扇

CPAP和呼吸輔助設備等醫療器(qi)械

電子管樂器 等

產品照片

三美電機(ji)制造MMR920系列

產品規格

● 工作電壓(ya)范圍 ： 3.0~3.6V

● 工作壓力(li)范(fan)圍 ： ±3.92kPa

● 工作溫度范圍： -40~60°C (* 后(hou)續(xu)將推出-40~85°;C 產品)

● 電流消耗(hao)： 0.8mA

● 壓力精度 ： ±1.0%FS

● 轉換(huan)時間： 0.4 / 0.8 / 1.6 / 3.2 ms（可(ke)選）

● 有效分辨率：1.9 / 0.9 / 0.4 / 0.2 Pa RMS（與所(suo)選轉換時間對應）

● 接口：I2C / SPI

封(feng)裝：MEMS-12B

尺寸：7.0 x 7.0 x 7.2（W×D×H）mm

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